超純水是指將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體、氣體和有機物均去除至很低程度的水。電阻率達到18MΩ.cm（25℃）的水。常用于集成電路、半導體原材料、固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷

（1）活性炭吸附 活性炭依靠吸附和過濾作用主要去除水中的異色、異味、余氯、殘留消毒物等有機物雜質。 （2）超過濾（UF） 超濾膜是一種強韌、薄、具有選擇性的通透膜，通常認為其過濾孔徑

傳統超純水制取采用離子交換工藝，但運行一段時間后樹脂會失效，需要酸堿再生，耗費大量的人力物力，同時酸堿的存儲也是一個問題?，F在廣泛采用二級反滲透加EDI技術，無需酸堿再生，可連續不間斷制水，水質穩定，

在電子工業中，超純水水質已成為影響產品質量、生產成品合格率、生產成本的重要因素之一，超純水主要用作清洗用水以及配制各種溶液，不同的電子元器件生產中純水的用途不同，對水質的要求也不同。